1、对所有的承载硅片的料架花篮(托盘)安装定制化开发的耐腐蚀载码体,利用花篮现有的安装孔定制载码体外形和尺寸,使载码体安装便捷高效;
2、在主要工艺段的入口位置安装RFI超高频读写头,读取经过该工艺段的单晶硅片序列号,以便MES系统对当前批次的数据进行记录和追踪;
3、在该工艺段完成后,出口位置的RFID读写头再次读取托盘的载码体序列号,以便MES系统对当前批次的完成情况进行统计。
整个RFID系统采用超高频读写头作为标签数据的读写终端,读写数据高速、准确。数据接口采用PROFINET总线协议,方便集成与现场调试。标准化、模块化设计大大缩短了整个MES系统的实施时间。
读写器考虑到现场的读写头与托盘的距离基本保持在10-20cm,且受到安装空间的限制,近距离安装小尺寸读写头是最佳选择,同时为了保证动态读取标签数据的可靠性,要求读写头的电磁场尽可能覆盖较大的读写区域。